小流量減壓器 結構特點│✘│·│: - 單級式減壓結構
- 膜片與母體採用硬密封形式
- 母體介面螺紋│✘│·│:1/4” NPT(F)
- 安全壓力│✘│·│:1.5倍的zui大輸入壓力
- 適用溫度│✘│·│:-40oF ~ 165oF(-40oC ~ 74oC)
- 洩露率│✘│·│:2 x 10-8 atm.cc/sec He
- CV│✘│·│:0.14
- 重量│✘│·│:0.9 kg(2.0 lbs)
材質 - 母體│✘│·│:銅電鍍✘₪,316L
- 閥座│✘│·│:PCTFE✘₪,PTFE✘₪,Vespel®
- 膜片│✘│·│:316L , Hasloy®
小流量減壓器適用範圍 - 半導體制程
- 實驗室
- 氣相分析
- 測試儀表
- 石油化學工業
- 電廠裝置
型號引數│✘│·│: 型號 | 適用氣體 | zui高輸入壓力(MPa) | 輸出壓力(MPa) | 進氣壓力錶(MPa) | 出氣壓力錶(MPa) | 進氣螺紋 | 出氣螺紋 |
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G190TX-80 | 氧氣 | 15 | 0.02-0.56 | 25 | 1 | G5/8"-RH(F) | M16-1.5RH(M) | G190TX-80-011 | 氧氣 | 15 | 0.02-0.56 | 25 | 1 | W21.8-14RH(F) | M16-1.5RH(M) | G190TY-15 | 乙炔 | 3 | 0.01-0.1 | 4 | 0.25 | 接瓶架 | M16-1.5LH(M) | G190TF-80 | 丙烷↟╃₪◕、天然氣 | 3 | 0.02-0.56 | 4 | 1 | M22-1.5LH(M) | M16-1.5LH(M) | G190TIN-80 | 氬氣↟╃₪◕、氦氣↟╃₪◕、氮氣 | 15 | 0.02-0.56 | 25 | 1 | G5/8"-RH(F) | M16-1.5RH(M) | G190TIN-15-011 | 氬氣↟╃₪◕、氦氣↟╃₪◕、氮氣 | 15 | 0.01-0.15 | 25 | 0.25 | W21.8-14RH(F) | M16-1.5RH(M) | G190TH-80-V | 氫氣 | 15 | 0.02-0.56 | 25 | 1 | W21.8-14RH(F) | M16-1.5LH(M)(帶調節閥) | G190TH-80 | 氫氣 | 15 | 0.02-0.56 | 25 | 1 | W21.8-14RH(F) | M16-1.5LH(M |
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